Tubes en fibre de carbone renforcée
Tubes en fibre de carbone renforcée multicouches avec une résistance à la flexion améliorée. Convient aux industries de la marine, de la défense et des transports. Options ignifuges disponibles.
Description
Cadres de métrologie en fibre de carbone ultra-précis
Solution de stabilité submicronConçus pour les stades de mesure des coordonnées (CMMS) et la lithographie, nos tubes en carbone basés sur la hauteur obtiennent une stabilité thermique sans précédent 0. 08µm / m / degré stabilité thermique - 5 x mieux que les alliages invar. Le secret réside dans:
Percée de la science matérielle
Architecture des fibres: Fibres de pas mésophase K13D2U (rendement en carbonisation à 93%)
Tissage hybride: 1k Weave + 12 k Ud Renfort axial
Additif amortissant: 2% de particules viscoélastiques de couche contrainte
Métriques de performance critiques
| Paramètre | Notre tube | Granit (typique) |
|---|---|---|
| CTE (20-25 degré) | 0. 01 ppm / k | 6,5 ppm / k |
| Fréquence naturelle | 420 Hz | 180 Hz |
| Fluage (1 an à 50n) | 0.3µm | 12µm |
Étude de cas: alignement des semi-conducteursInstallé dans les étapes du masque EUV au Fab 2NM de TSMC:
Erreurs de superposition réduites de {{0}}. 22 nm à 0,07 nm
Activé de 98,7% de rendement à la tranche vs 93,4% avec des guides en céramique
22% d'amélioration du temps de cycle grâce à une réduction de compensation thermique
Compatibilité des salles blanches
Outgassing: 0. 003% TML (NASA ASTM E595 Conforant)
Émission de particules:<5 particles/ft³ (ISO Class 1 standard)
Protection ESD: 10⁶ -10 ⁹ Ω Resistivité de surface
Protocole de maintenance
Recordation annuelle avec de l'éthylène propylène fluorimé (FEP)
Étalonnage interféromètre laser toutes les 5 heures 000
10- Garantie de stabilité dimensionnelle de l'année
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